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mems速度传感器工作原理?(mems传感器有哪些)

  1. mems速度传感器工作原理?
  2. 传感器使用前都需预热吗?

mems速度传感器工作原理?

采用的是压阻式信号检测原理,其核心是半导体材料的压阻效应。压阻效应是指当材料受到外加机械应力时,材料的体电阻率发生变化的材料性能。晶体结构的形变破坏了能带结构,从而改变了电子迁移率和载流子密度,使材料的电阻率或电导发生变化。

mems速度传感器工作原理?(mems传感器有哪些)-图1

一根金属电阻丝,在其未受力时,原始电阻

传感器使用前都需预热吗?

不是所有的传感器使用前都需要预热。通常,模拟式输出的传感器都需要一定的预热时间。许多数字式传感器不需要。

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mems速度传感器工作原理?(mems传感器有哪些)-图2
mems速度传感器工作原理?(mems传感器有哪些)-图3

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