mems速度传感器工作原理?传感器使用前都需预热吗?mems速度传感器工作原理?采用的是压阻式信号检测原理,其核心是半导体材料的压阻效应。压阻效应是指当材料受到外加机械应力时,材料的体电阻率发生变化的材料性能。晶体结构的形变破坏了能带结构,...